在磷矿的分解过程中生成的HF即与磷矿中的SiO2反生成氟硅酸。氟硅酸在加热（酸性溶液中）时会分解放出四氟化硅气体。四氟化硅在油水的参与下即转成氟硅酸及二氧化硅胶体，但是在大量铵盐存在作用下，氟硅酸即转化成稳定的氟硅酸按，而抑制了四氟化硅的逸出，其反应如下：

4HF+SiO2=SiF4+2H2O

3SiF4+4H2O=2H2SiF6+SiO2·2H2O

H2SiF6=SiF4↑+2HF

H2SiF6+（NH4）2SO4=（NH4）2SiF6+H2SO4

此外磷矿中存在的其他组份，在反应过程与酸作用产生出如下反应：

R2O3+2H3Po4=2RPO4+3H2O

Ca(Mg)CO3+H2SO4=Ca（Mg）SO4+CO2↑+H2O